第330章
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准确的来说，宋问声他们只有半个月的时间，剩下的半个月，他们必须对这种材料的很多性能有足够了解。 方林山攥了攥拳头，那种窒息一样的压力再次袭上心头，每一次他都当成挑战不会后退，这一次也是这样。 在宋问声的指挥当中，实验开始。 实验室的最前面全部贴满了宋问声对这种特殊材料的要求，以及合成原理和过程，他所预想的性能。 原来光刻胶小组不再需要他频繁地指导，他偶尔会回去看看，了解一下实验进度，其他的时间，他基本上是泡在材料研究实验室这边。 皇天不负苦心人，在过程当中除了他稍稍修改了一下这个材料的外壳，使之更加贴合他想要的性质之外，在他的科研直觉指导之下都是顺风顺水的。 二十五天之后，他将这款材料的样品还有测试性质性能报告全部提交到应富华那边。 应富华找了另外几个小组内的专家对这些材料进行审核验收，经过他们再次的测试，证实这种新兴的复合材料可以应用在光刻机的光源上，甚至可以更好的使光源的强弱发生想要的变化。 三十天，微机电系统分流人配合宋问声研发自由照明光源的核心部分。 宋问声不太了解这方面在，只能说是配合他们，但是也收获良多。 此时他对光刻机攻克任务的贡献值已经来到了8%。 看起来微乎其微。 但是却耗费了宋问声不少心血。 不过他还没有死心，应了另外一位殷教授的邀约，去看看他们开发的工件台系统。 工件台主要负责承载和运输硅片。 听上去似乎很简单，但是里面的技术含量很高。 在以前芯片行业还有不少对手的时候，asml开发了双工件台系统，博得了众多卖家的青睐，一跃成为光刻机领域的龙头企业。 而现在的事实是我们国家对于研发这样的工件台系统还有一定的难度。 工件台系统包括载片台、电机等，其中比较重要的是调平调焦机构和双频干涉仪等。 技术难点在于掩模模板的设计还有检测系统，这些都被美国公司所垄断。 asml的工件台工作顺序是位于曝光光位的工件台进行硅片曝光的同时，另一个工件台对曝光硅片进行形貌测量等等（1），是正好一个往复循环，绝对不会浪费一丝时间的。 宋问声对这个操控算法有些兴趣，因为里面运用到很多来自于拓扑学的数学知识，在这方面，他舍我其谁？ 观察了一段时间之后，他饶有兴趣的和殷教授讨论这个问题。 殷教授叹气，“这方面也是简单，两个不行，咱们还可以做三个、四个，无非是运作顺序的问题，这里头的技术难点还是怎么精准测量到被曝光硅片的形貌。” 在这方面宋问声也没有太多想法，回去在内部网下载了很多这方面的资料之后，就开始自己琢磨。 于是这段时间，方林山他们这些人彻底失宠了。 他们的组长宋问声已经跑到隔壁的隔壁去了。 不过方林山他们还是做得很开心，之前他们没有太多的存在感，现在有成果出来了，可以说是在大家面前说话底气都足了，现在他们还在对这个材料进行研究。 不需要扩大化生产，他们至少也要在实验室多弄点样品出来，所以他们在改进合成路线，没有之前压力那么大，也是忙得不可开交。 偶尔有闲下来的时候，他们就会思考，为什么他们搞一件事情都很累了，宋问声还会有精力去跨界，而且还能做的很好呢？ 这个问题他们想也不会知道真的答案，只能自认为是老天爷给饭吃吧。 随着微机电分流人员对自由照明光源的开发，宋问声对任务的贡献度也渐渐的来到了10%，增长速度还有，只是变得十分缓慢。 宋问声日以继夜的查看内部网资料，丢落的稿纸被揉成团，堆满了垃圾筐，溢出来，警卫员没有允许是不会进入他们的房间进行打扫的。 所以在那之后三天，宋问声也没有管这越来越多的纸团，直到有一天他走进来，发现自己的办公桌周围竟然没处下脚，才意识到最近自己有些走火入魔了。 在还没有开科技文之前，他看着榜单上的科技文，也会有开一篇的冲动。 一位网文界的前辈说过，如果写这本问你要查找资料的程度大于百分之五十，那么很有可能把握不住。 宋问声看着电脑屏幕上的干涉仪的三维图形，背后靠在椅子上，手捶打了一下肩膀。 他总是觉得还差了三四步什么，但是第六感这个时候又不是经常出来了。 眼看着灵感就要消失掉，他把目光投向了自己最后一瓶潜力药水。 作者有话说： （1）来自于《深紫外光刻机照明系统关键检测技术研究》，刘志帆； （2）今天回老家祭拜了，回来好累，所以晚了一点； （3）谢谢大家的支持！ 感谢在2022-08-21 20:52:56-2022-08-22 23:54:58期间为我投出霸王票或灌溉营养液的小天使哦—— 感谢灌溉营养液的小天使：几何 3瓶； 非常感谢大家对我的支持，我会继续努力的！ 第176章 又惊又喜 除了刚开始的时候, 平常他再怎么困难都不怎么想要借助潜力药水这种外物，也压根不会想到他。